主要规格及技术指标

（1）XY轴：气浮直驱直线台，高精密零膨胀光栅反馈行程100 mm 截止频率大于120Hz 分辨率1 nm 重复定位精度： ±0.1μm 定位精度：±0.2 μm 直线度平面度：可达± 0.5μm /100mm （2）Z轴： 行程60 mm 分辨率1nm 重复定位精度: ±100 nm, 定位精度: ± 250 nm 在位稳定性3 nm 双缸配重，位移台带大理石支架隔振 ,大理石支架上方设计光路扩展平台。龙门架垂直度垂度小于0.01mm。 （3）配备激光位置触发模块 （4）配备单轴驱动器、八轴控制器，支持TCP/IP,Ethernet/IP。Modbus。Rs232通信，Ethercat最大循环速率5KHz （5）提供位移台校准服务 （6）按需提供软件功能 （7）提供气泵、稳压阀、空气过滤器、气罐等辅材 （8）提供系统与激光器联合调试服务，调试服务包括电气联调，光路调试 （9）xy轴上配套扩展工装，z轴安装多镜头扩展工装

主要附件及配置

无

主要功能及特色

三维气浮位移平台系统，精密运动定位位移平台