主要规格及技术指标

主真空室：1×10-10 Torr XPS：0.5eV, AES: 分辨率：0.4%, 电子枪束斑：75nm , 灵敏度：1Mcps信噪比：大于70:1 角分辨：5°～90°. A1/Mg双阳极靶 能量分辨率：0.5eV ,灵敏度：255KCPS,

主要附件及配置

冷却循环水箱

主要功能及特色

测试项目：全谱/窄谱/刻蚀/定性/定量
价带/价态；
测试参数：辐射源：Al 靶，能量：
1486.8eV，光斑：30-600um，电压：
15kV，电流：10mA，真空：2x10-9 mbar；
步长：0.05eV。