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光刻机
仪器编号
2006475S
规格
200s
生产厂家
中国科学院光电技术研究所
型号
含真空泵、空压机、水冷机、匀胶机、烘胶机
制造国家
中国
购置日期
2020-11-24
放置地点
[茶山南校区]6号楼1层B102-2激光纳米制造室 100620010220
出厂日期
2020-11-24
主要规格及技术指标
光刻设备，包括图形印制
主要附件及配置
无
主要功能及特色
把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到基板上
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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