"直流电流-电压(I-V) 范围10 aA - 1A,0.2 µV - 210 V电容-电压(C-V) 范围1 kHz - 10 MHz± 30V 直流偏置脉冲 I-V范围±40 V (80 V p-p),±800 mA 200 MSa/s,5 ns 采样率"
无
加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发,完成制程控制、可靠性分析和故障分析