1、速度分辨率:0.02μm/s/1Hz带宽。 2、位移分辨率:0.15nm。 3、最大速度:20m/s。 4、工作距离:0.125m~100m。
无
1、交互式设置。2、快速扫描。 3、完美可视化。 4、灵活分析。