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离子束刻蚀系统
仪器编号
20140707
规格
ICP-5100
生产厂家
北京创世威纳科技有限公司
型号
ICP-5100
制造国家
中国
购置日期
2019-04-01
放置地点
茶山南校区 1-A111(隔离间）
出厂日期
2019-04-01
主要规格及技术指标
用于离子束刻蚀
主要附件及配置
无
主要功能及特色
用于离子束刻蚀
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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