仪器设备 /
化学与材料工程学院 / 远紫外光刻机
远紫外光刻机
仪器编号
20073272
规格
*
生产厂家
中国科学技术研究所
型号
URE-2000/35EI
制造国家
购置日期
1970-01-01
放置地点
学院路1-210
出厂日期
1970-01-01
主要规格及技术指标
无
主要附件及配置
无
主要功能及特色
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
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