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化学与材料工程学院 / 探针台
探针台
仪器编号
20132407
规格
CRX-6.5K
生产厂家
美国LAKE SHORE
型号
CRX-6.5K
制造国家
美国
购置日期
1970-01-01
放置地点
学院路1-107
出厂日期
1970-01-01
主要规格及技术指标
chuck尺寸100mm～300mm针座摆放个数2～8颗适用领域4寸～12寸Wafer，如晶圆厂、LED
主要附件及配置
无
主要功能及特色
从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台（超低温探针台），RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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