主要规格及技术指标

"1. 二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV） 2.2nm (加速电压1kV)
2. 放大倍数：低倍模式：×25~×19000
高倍模式：×100~×650000
3. 样品台尺寸：ф12.5、ф26mm
4. 试样移动范围：X轴范围：0~70mm
Y轴范围：0~50mm
Z轴范围：1.5~25mm（连续旋转）角度360°
倾斜：-5~60°
5. 加速电压：0.5~20kV
6. 电流：0~15mA
7. 扫描模式：SEI、LEI、COMPO等"

主要附件及配置

" 1. 牛津INCA7421能谱仪
2. JEOL(（日本电子）JVC-1600等离子体溅射仪
3. 上海一恒DZF-6020型真空干燥箱"

主要功能及特色

1. 分辨本领较高。二次电子像分辨率可达1.0 nm；2. 放大倍数变化范围大（从几十倍到几十万倍），且连续可调；3. 图像景深大，富有立体感。可直接观察起伏较大的粗糙表面（如金属和陶瓷的断口、纤维材料等）；4. 样品制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不导电的样品不加处理或稍加处理，就可直接放到扫描电子显微镜中进行观察；一般来说，比透射电子显微镜（TEM）的制样简单，且可使图像更近于样品的真实状态；5. 观察扫描形貌图像的同时，可对样品微区进行元素分析。JSM-6700F扫描电子显微镜配置的牛津INCA电子能量色散谱仪（EDS），在观察扫描样品形貌的同时，可对样品微区进行元素分析和结晶学分析。