可靠性、探测器、元素分析范围Be4-U92,免维护性,输出最大计数率,谱定性分析
1.X-射线单色器 2.氩离刻蚀枪 3.电子中和枪 4.样品加热装置(1000k) 5.五轴向样品旋转装置
材料元素分析,同透射电子显微镜